이를 위해 자동차, 산업, 로봇, 의료 분야에서 활용도가 높은 글로벌 셔터와 단일광자 포토다이오드(SPAD) 공정 기술을 고도화한다.
글로벌 셔터는 빠르게 움직이는 피사체의 이미지를 왜곡 없이 포착하는 센서로 2022년부터 2029년까지 연평균 시장성장률이 16%에 이를 것으로 기대되고 있다.
DB하이텍의 7Tr 전하 도메인 글로벌 셔터는 라이트 실드와 라이트 가이드 기술을 적용해 5.6um 픽셀에서 PLS≥3만5000을 달성했으며, 최소 2.8um 픽셀(PLS≥1만)까지의 다양한 크기를 지원한다.
PLS는 빛에 대한 민감도를 나타내는 개념이다. 1만 이상이면 광인식률 99.99%(Noise 발생률 1만분의 1 미만)에 달하는 상당히 높은 수준의 셔터 효율성을 보인다.
DB하이텍은 6Tr 전하 도메인 글로벌 셔터 공정에서도 2.8um 픽셀에서 PLS≥1만과 60C일 때 ≤20e/s의 낮은 암전류 특성을 확보했다. 해당 공정은 올해 말까지 개발 완료 후 고객에게 제공될 예정이다.
SPAD는 입자 수준의 미약한 빛 신호를 감지하는 초고감도의 3D 이미지센서로, 정밀도가 높고 장거리 측정이 가능해 자율주행차, AR·VR 기기, 로봇, 스마트폰 등 미래 첨단기술을 구현하는 데 핵심적인 부품이다.
DB하이텍의 SPAD 2세대 공정은 BSI 구조로 BST(Backside Scattering Technology), BDTI(Backside Deep Trench Isolation)를 적용해 940nm 파장 기준, 광자 검출 확률 15.8%의 선진 기술 수준을 갖췄다.
일반 CIS의 암전류에 해당하는 DCR(Dark Current Rate) 성능도 0.69cps/um2까지 확보했다.
DB하이텍 관계자는 “현재 미국, 유럽, 중국, 일본 등지의 글로벌 선두 기업들과 협업해 제품을 개발 중”이라며 “고객 맞춤형 공정, 픽셀 개발을 위해 시뮬레이션을 할 수 있는 TDK(TCAD Design Kit), 고객의 비용을 절감할 수 있는 MLM(Multi-Layer Mask) 등의 서비스를 제공하며 고객 지원을 강화해 나갈 계획”이라고 설명했다.
한편 최근 DB하이텍은 X-ray CIS에서도 유럽 선두 의료용 센서 전문업체와 제품 개발에 성공해 사업을 확대 중이다. 특히 선진사 수준의 품질 및 수율 특성으로 고객 반응이 좋아 의료 분야에 이어 산업 분야로도 사업을 확대해 나갈 방침이다.
[소비자가만드는신문=유성용 기자]
